半導體生產需要使用大量的超純水,生產一張12寸的硅片,要用掉8噸水,能裝滿一臺灑水車。一個大型Fab工廠,在半導體制造過程中每天需使用5～6萬噸水,接近一個百萬人口城市每天的用水量,是名副其實的“水老虎”。一些半導體企業(yè)曾因難過“水”關,而不得不此削減用水量。因此當下半導體生產不僅對超純水的純度要求極高,對水的循環(huán)利用要求也極度苛刻。

半導體工廠水處理工藝復雜,再利用難度大

半導體行業(yè)需要用到大量的化學原料和重金屬元素,產生的廢水根據污染物的不同,可以分為含氨廢水,含氟廢水,研磨廢水,酸堿廢水,有機廢水,洗滌廢水等等,半導體生產過程中的廢水收集與處理種類紛繁復雜,為循環(huán)再利用的工藝帶來了極大的難度。

典型的半導體制程機臺采用不同的清洗工藝,會分流出包含氫氟酸廢水、制程洗滌廢水、酸性廢水、堿性廢水、TMAH廢水、研磨廢水、研磨含銅廢水等36種不同含量的廢水。廢水分流之后,通過氫氟酸廢水收集、尾氣洗滌廢水收集、酸性廢水收集、堿性廢水收集等至少12種收集系統(tǒng)的回收,再針對不同廢水類型,通過物理、生化、臭味去除等基本工藝進行酸堿廢水處理、氨氮廢水處理、TMAH廢液回收、研磨廢水處理、研磨銅廢水處理等等,最終在實現水資源的循環(huán)利用(3.5次水再利用率)的同時,也完成了硫酸銨、氨水、石膏、TMAX、硫酸和銅棒等高價值資源的回收。

水處理技術突破,實現資源“循環(huán)增效”

一直以來,高頻科技積極尋求水處理的技術突破,致力為半導體高端制造等行業(yè)客戶,提供領先的超純水與循環(huán)再生解決方案及裝備,通過自研或聯(lián)合研發(fā)的模式,不斷提升半導體回用水系統(tǒng)及廢水收集處理系統(tǒng)的工藝技術,實現水資源及其他相關資源的循環(huán)再生,幫助半導體企業(yè)節(jié)約成本,提升循環(huán)經濟價值。

高頻科技回用水系統(tǒng)及廢水收集處理系統(tǒng),可以幫助半導體企業(yè)減少廢水量、減少用水量、減少能耗、減少化學品使用、減少設備使用損耗,通過保障環(huán)保指標、保障水制程回收率、保障微量元素回收利用來實現對綠色廠務水平的綜合保障。

據了解,目前高頻科技已經研發(fā)交付了超過30種可選回用水工藝技術,不斷提升“制程回收率”,持續(xù)提升提升經濟循環(huán)績效,目前水制程回收率已經可以達到75%-90%。高頻科技致力于讓每一滴超純水都可以循環(huán)再利用,助力企業(yè)自身提質增效,保障半導體企業(yè)可持續(xù)發(fā)展。

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